索尔维将在2022年台湾展上展出其先进材料产品组合

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索尔维这家全球特种材料供应商正利用今年台北半导体展(Semicon Taiwan)的机会，展示其面向全球半导体行业的先进材料组合。

广泛的特种聚合物

9月14日至16日，在N0584展位，该公司将重点介绍其全面的特种聚合物和化学品产品，涵盖前线(FEOL)和后端(BEOL)半导体制造、测试和组装的所有阶段。

从高性能聚合物到浆料磨料、气体和湿式化学品，该公司的材料解决方案旨在满足制造商在这个动态市场中独特而复杂的需求，并以出色的纯度、持久的化学稳定性和优化的耐高温和等离子体性能推动芯片性能的极限。

广泛的结构和内部零件成型KetaSpire^®偷看，Torlon^®拜，海拉尔^®ECTFE，Hyflon^®PFAMFA,Solef^®PVDF而且Algoflon^®聚四氟乙烯展示了索尔维的特种聚合物在FEOL工艺中的完美契合，如干法和湿法蚀刻、清洗、化学气相沉积(CVD)、化学机械平面化(CMP)和光刻。此外,Tecnoflon^®FFKM用于o形环和密封件，氟环^®CMP检测垫，Fomblin^®PFPE作为真空泵的润滑剂，加登^®PFPE确保冷水机组的适当传热。

其中许多材料还扩展到晶圆处理、管道涂层、过滤器、管道和油管以及从晶圆级封装(WLP)到探测和测试的BEOL工艺。产品组合还包括专门的特种化学品，如Sifren^®C₄F₆蚀刻用清洗气体，Interox^®H₂O₂过氧化氢的优化湿蚀刻和Cypure^®PH值_3.圆柱形磷化氢掺杂气体。

此外，苏威还确认了其对半导体行业的积极承诺，成立了一家新的合资企业——新索尔先进化学公司，用于开发、生产和销售电子级过氧化氢，该合资企业位于台南的台湾南部科技园附近，计划于2023年开始运营。

来源:索尔维